編號：FTJS08727
篇名：溶膠-凝膠法制備PZT薄膜研究進展
作者：劉立崴 周闖 丁江
關鍵詞： 微機電系統(tǒng) 鐵電薄膜 鐵電性能 PZT薄膜 溶膠-凝膠法
機構： 廣西大學機械工程學院 中國電子科技集團公司第二十六研究所 廣西制造系統(tǒng)與先進制造技術重點實驗室
摘要： 隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,鐵電薄膜材料作為微機電器件的重要組成部分而愈受重視。鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜具有優(yōu)越的壓電性、熱釋電性及光電性等性能,在微電子、壓電、光學及半導體等領域展現(xiàn)了巨大的應用潛力。因此,高性能PZT薄膜的制備技術及制備工藝一直備受關注。其中,溶膠-凝膠法因具有易于控制成分,所需設備成本低及制備薄膜的均勻性好等優(yōu)點而被廣泛用于PZT薄膜制作中。該文在溶膠-凝膠法基本原理及制作工藝的基礎上,著重分析了溶膠-凝膠法制備PZT薄膜的研究現(xiàn)狀,總結了當前溶膠-凝膠法的技術特點,并指出了研究中存在的不足及未來的潛在改進方向。
