編號(hào)：FTJS08610
篇名：石英玻璃固結(jié)磨料研磨工藝參數(shù)響應(yīng)面模型的研究
作者：王占奎 楊亞坤 逄明華 李勇峰 馬利杰 姚建國(guó) 朱永偉 蘇建修
關(guān)鍵詞： 石英玻璃 響應(yīng)曲面法 固結(jié)磨料 研磨
機(jī)構(gòu)： 河南科技學(xué)院機(jī)電學(xué)院 河南科技大學(xué)信息工程學(xué)院 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院
摘要： 目的通過優(yōu)化工藝參數(shù),充分挖掘固結(jié)磨料研磨加工的優(yōu)勢(shì)。方法采用固結(jié)磨料研拋墊對(duì)石英玻璃進(jìn)行研磨,以材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Ra)為評(píng)價(jià)指標(biāo),采用3因素3水平的響應(yīng)曲面法,探索工件轉(zhuǎn)速、研磨壓力、研磨液流速三個(gè)工藝參數(shù)對(duì)固結(jié)磨料墊加工特性的影響規(guī)律。建立三個(gè)工藝參數(shù)作用下的MRR模型和Ra模型,結(jié)合響應(yīng)曲面及其等高線,獲得工藝參數(shù)變量?jī)蓛蓮?fù)合的影響規(guī)律和各目標(biāo)下的最優(yōu)工藝參數(shù)。最后,對(duì)最優(yōu)工藝參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。結(jié)果實(shí)驗(yàn)結(jié)果及其分析表明,以最大材料去除率為目標(biāo)的最佳工藝參數(shù)為:轉(zhuǎn)速90 r/min,壓力20.685 kPa,研磨液流速60 m L/min。以最小表面粗糙度為目標(biāo)的最佳工藝參數(shù)為:轉(zhuǎn)速100 r/min,壓力20.685 kPa,研磨液流速80 mL/min。最優(yōu)工藝的加工性能預(yù)測(cè)值為34.5 nm/min和38.5 nm,驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)結(jié)果為37.6 nm/min和39.4 nm,二者的誤差值在合理范圍內(nèi)。結(jié)論研拋工藝參數(shù)的響應(yīng)面模型具有良好的預(yù)測(cè)能力,預(yù)測(cè)誤差很小,最優(yōu)工藝參數(shù)下,工件表面平整光滑,沒有明顯的凹坑和粗大劃痕。
