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        振蕩壓力對(duì)高性能氮化硅陶瓷燒結(jié)致密化的影響

        編號(hào):FTJS08576

        篇名:振蕩壓力對(duì)高性能氮化硅陶瓷燒結(jié)致密化的影響

        作者:韓耀 李海燕 謝志鵬 王華棟 董衡 孫志強(qiáng) 張冰清 張劍 呂毅

        關(guān)鍵詞: 氮化硅 致密化 振蕩壓力 燒結(jié) 晶粒尺寸 微觀結(jié)構(gòu)

        機(jī)構(gòu): 航天特種材料及工藝技術(shù)研究所 中國建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司 清華大學(xué)

        摘要: 采用新型振蕩壓力燒結(jié)技術(shù)制備高性能氮化硅陶瓷,并對(duì)比熱壓燒結(jié)技術(shù),研究了不同工藝下氮化硅陶瓷的致密度、物相、晶粒尺寸、微觀形貌及力學(xué)性能變化規(guī)律,分析了振蕩壓力對(duì)氮化硅陶瓷的致密化作用.結(jié)果表明:振蕩壓力燒結(jié)工藝下氮化硅陶瓷實(shí)現(xiàn)了α相到β相的物相完全轉(zhuǎn)變,相對(duì)密度達(dá)到了99.82%;對(duì)比熱壓燒結(jié)工藝,振蕩壓力作用下氮化硅陶瓷的晶粒尺寸明顯增加,晶粒平均長徑比由3.79增加到4.86,彎曲強(qiáng)度、硬度及斷裂韌性分別提高到1333 MPa、16.2 GPa、12.1 MPa·m1/2,斷裂表面能也明顯提高.OPS試樣晶粒表面觀察到了明顯的形變條紋和位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)區(qū)域.振蕩壓力的引入提高了致密化速率和晶粒的生長驅(qū)動(dòng)力,且能夠促進(jìn)氮化硅在致密化過程中塑性形變的產(chǎn)生,有效加快了燒結(jié)致密化進(jìn)程.

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