編號(hào):FTJS08489
篇名:化學(xué)氣相沉積合成石英玻璃中二氧化硅團(tuán)簇形成分子動(dòng)力學(xué)模擬
作者:周鳴飛 黃耀松
關(guān)鍵詞: 二氧化硅 團(tuán)簇 氣相成核 分子動(dòng)力學(xué)模擬 REAXFF
機(jī)構(gòu): 蘇州大學(xué)能源學(xué)院
摘要: 本文采用ReaxFF力場(chǎng)開展氣相SiO2分子冷卻形成團(tuán)簇過程的分子動(dòng)力學(xué)模擬,研究討論了體系在初始溫度為2500K、2414K和2326K下,經(jīng)過1000K下降后的成核過程,結(jié)果表明在一定溫度和壓力條件下分子自發(fā)形成團(tuán)簇是可以發(fā)生的,團(tuán)簇形成過程是由Si-O鍵斷裂開始,經(jīng)歷分子吸附后不斷長(zhǎng)大,這個(gè)過程伴隨著能量及飽和比的突變。