編號(hào)：FTJS08265
篇名：TiCN涂層的制備及其微觀結(jié)構(gòu)和性能
作者：邢珂 李博文
關(guān)鍵詞： 鎂合金 磁控濺射 碳氮化鈦涂層 負(fù)偏壓 耐蝕性 硬度
機(jī)構(gòu)： 內(nèi)蒙古機(jī)電職業(yè)技術(shù)學(xué)院冶金與材料工程系 中科院金屬研究所
摘要： 采用直流磁控濺射法在AZ31鎂合金上制備了TiCN涂層。采用X射線熒光光譜儀、掃描電鏡和X射線衍射儀表征了涂層的化學(xué)成分、表面形貌和物相,并采用電化學(xué)阻抗譜、浸泡試驗(yàn)、顯微硬度測(cè)試和磨損試驗(yàn)考察了基體偏壓(−40、−60和−80 V)對(duì)涂層性能的影響。結(jié)果表明,涂層由TiCN和TiN組成。隨著負(fù)偏壓增大,涂層中Ti、C元素含量增加,N元素含量減小,而顯微硬度提高,物相組成和擇優(yōu)取向發(fā)生變化。−60 V偏壓下所制涂層的表面粗糙度最小,耐蝕性最好。3種偏壓下所制涂層的摩擦因數(shù)均小于0.3,磨損率在10−6 mm3/(N·m)數(shù)量級(jí)。
