編號：CYYJ02212
篇名：基于AFM納米機械刻劃加工納米結構及應用
作者：王繼強 耿延泉 閆永達
關鍵詞： AFM 納米加工 納流控 拉曼檢測 納米線
機構： 哈爾濱工業(yè)大學微系統(tǒng)與微結構制造教育部重點實驗室
摘要： 原子力顯微鏡(AFM)是具有納米級精度的檢測設備,同時可應用于納米結構的加工。AFM納米加工已經(jīng)成為微納結構加工的有效方法之一,可廣泛地應用于機械、物理、化學和生物醫(yī)學等領域。文章首先簡要介紹傳統(tǒng)微納加工方法,并對基于AFM的納米機械加工方法進行詳細介紹并分析了其相對優(yōu)勢;然后介紹了AFM加工得到的納米溝槽和納米點陣等結構在納流控及拉曼檢測等領域的應用,并對其未來的發(fā)展方向進行展望。綜述展示了AFM納米機械加工的應用潛力,為相關領域的研究提供了一種簡單、可行的納米加工方法。
