編號：FTJS08073
篇名：CuO-TiO2氣敏材料的制備及其低溫丙酮氣敏特性研究
作者：鄭潔 潘國峰 韓楠 肖悅 王如
關鍵詞： 氧化銅 二氧化鈦 丙酮 工作溫度 光激發(fā) 氣敏性能
機構： 河北工業(yè)大學電子信息工程學院天津市電子材料與器件重點實驗室
摘要： 采用溶膠-凝膠法制備了CuO摻雜TiO2納米材料并用于丙酮氣敏傳感器制備,通過XRD和SEM對樣品的物相結構和表面微觀形貌進行表征,利用 EDS對樣品的元素種類與平面分布進行了分析,研究了CuO摻雜量、工作溫度、光激發(fā)等對元件氣敏性能的影響。結果表明,CuO-TiO2對丙酮表現(xiàn)出良好的選擇性,摻雜6.6%(質量分數(shù))CuO的CuO-TiO2,經500℃退火后,在75℃下,對體積分數(shù)為1000×10^-6丙酮的靈敏度達到106.71,響應時間和恢復時間均為2s;同時研究還顯示光激發(fā)可以有效提高元件的氣敏性能,紫外光照射下元件對丙酮的靈敏度相比無光條件下增幅95%,而可見光照射下元件對丙酮的靈敏度相比無光條件下仍能增幅50%。
