編號：FTJS07778
篇名：大尺寸氧化鋁陶瓷導軌超精研拋工藝研究
作者：劉劍 蔡黎明 成賢鍇 顧國剛 于涌
關鍵詞： 高精度 陶瓷導軌 超精研拋
機構： 長春理工大學 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術研究所
摘要： 為了提高氧化鋁陶瓷導軌超精密研拋加工的工作效率,分析了研拋壓力、研拋速度以及磨料添加間隔等工藝參數(shù)與研磨拋光效率的關系。首先,根據(jù)氧化鋁陶瓷導軌的特性及物理參數(shù),確定研磨拋光盤以及磨料的選型。然后以高精度平面平晶作為檢測工具,平晶與導軌表面形成干涉條紋,利用條紋的數(shù)量定量表征研拋效果。最終得到氧化鋁陶瓷導軌的最佳工藝參數(shù):每個研拋壓力應該控制在40 N;研拋線速度為45 m/min;研磨劑的添加時間為30 min。在同等時間內(nèi),應用此套工藝參數(shù)可以達到更高的面型精度。
