氮?dú)饬髁繉?duì)磁控濺射ZrN納米涂層結(jié)構(gòu)及硬度的影響

編號(hào)：NMJS00300

篇名：氮?dú)饬髁繉?duì)磁控濺射ZrN納米涂層結(jié)構(gòu)及硬度的影響

作者：黃若軒; 孫鵬; 朱芳萍; 祁正兵; 王周成;

關(guān)鍵詞：氮化鋯; 納米涂層; 磁控濺射; 取向性; 硬度;

機(jī)構(gòu)： 廈門大學(xué)材料學(xué)院; 廈門大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院;

摘要： 利用磁控濺射方法,通過(guò)改變氮?dú)饬髁恐苽涑鯶rN納米涂層,研究了氮?dú)饬髁繉?duì)ZrN納米涂層結(jié)構(gòu)及硬度的影響,并采用表面輪廓儀、X射線衍射儀、掃描電鏡及納米壓痕表征了ZrN納米涂層的厚度、相結(jié)構(gòu)、形貌及硬度.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,隨著氮?dú)饬髁吭黾?涂層厚度減小,涂層擇優(yōu)取向由(111)變?yōu)?200),對(duì)應(yīng)的截面形貌由柱狀結(jié)構(gòu)變?yōu)榉侵鶢罱Y(jié)構(gòu);傳統(tǒng)的位錯(cuò)滑移機(jī)制不適用于ZrN納米涂層的塑性變形,其硬度隨擇優(yōu)取向和晶粒尺寸的增大而增加.