編號：SBJS00708
篇名：基于黑磷烯/氧化石墨烯雙介質層的柔性電容式壓力傳感器
作者：聶萌 郭安琪 陳佳琦 徐峰
關鍵詞： 柔性 電容式壓力傳感器 黑磷烯 氧化石墨烯 靈敏度
機構： 東南大學MEMS教育部重點實驗室
摘要： 設計并制備了由黑磷烯/氧化石墨烯雙層材料為介質層的電容式柔性壓力傳感器,該傳感器結構以ITO為電容上下極板,PET為柔性基底,并對該傳感器進行了系統(tǒng)的性能測試與分析。著重研究了該傳感器在不同壓力量程內的靈敏度,進而分析了其溫度漂移特性。測試結果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜為雙介質層的電容式柔性壓力傳感器在0~3.12 kPa壓力量程內靈敏度可達到1.60 kPa -1 。同時,對該傳感器和以氧化石墨烯薄膜為單介質層的傳感器進行了彎曲應變性能的對照實驗,可知具有雙介質層的傳感器結構能夠顯著提高傳感器的輸出特性。
