編號：CPJS06455
篇名：基于石墨烯復合薄膜的平面微電感
作者：閆麗麗 郭磊 支紹韜 馮竹 雷沖 周勇
關鍵詞： 微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 石墨烯薄膜 微電感 真空干燥 平面線圈 石墨烯/銅復合導線
機構： 上海交通大學電子信息與電氣工程學院 上海交通大學薄膜與微細技術教育部重點實驗室
摘要： 石墨烯由于其獨特的組成結構,具有極其優(yōu)異的電學性能,基于石墨烯薄膜的電子器件越來越受到研究者的關注。通過將石墨烯與微型導電線圈結合,探究石墨烯對線圈微電感性能的影響。滴涂石墨烯并通過三組對比實驗確定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥、室溫真空干燥和室溫自然干燥)。結果顯示,室溫真空干燥形成的石墨烯薄膜更為連續(xù)均勻、薄膜厚度小且電阻率更低。進一步實驗得到,45℃為室溫真空干燥方式的較佳干燥溫度。采用微電子機械系統(tǒng)(MEMS)工藝制備三種不同材料的微型導電線圈(銅導線、石墨烯/銅復合導線、石墨烯導線)。對三種線圈的電學參數(shù)進行測試,發(fā)現(xiàn)石墨烯/銅復合導電線圈的電感性能有較大提高。
