編號：SBJS00673
篇名：基于懸浮式石墨烯的應變傳感器發(fā)展概述
作者：張瑋峰 李曉莉 張子生 尚雅軒 李曉葦
關鍵詞： 石墨烯 懸浮式 應變傳感器 壓力靈敏度
機構(gòu)： 河北大學物理科學與技術(shù)學院河北省光電信息材料重點實驗室 中國科學院半導體研究所半導體超晶格國家重點實驗室
摘要： 石墨烯材料具有獨特的機械與電學性質(zhì),迅速成為當前科研的熱點�；谑�(gòu)建應變傳感器,不僅可以豐富傳感器的構(gòu)建材料,而且借助石墨烯特有的性質(zhì),可以研制出比硅性能更優(yōu)異的應力傳感器。本文介紹了近些年來懸浮式石墨烯應變傳感器的設計與制造技術(shù)的發(fā)展,介紹了傳感器的結(jié)構(gòu)、原理、靈敏度等性能,闡述了對傳感器的結(jié)構(gòu)和性能進行改進和優(yōu)化的過程。基于懸浮式石墨烯的應變傳感器可應用于納機電系統(tǒng)（NEMS）,在醫(yī)學、生物等納米領域具有巨大的應用潛力。
