編號：NMJS00200
篇名：納米氧化鋁薄膜濕度傳感器的研制
作者：盧云; 劉俊; 侯應(yīng)應(yīng); 于大蔚; 陳大愷;
關(guān)鍵詞：濕度傳感器; 氧化鋁; 多孔膜; 金電極;
機(jī)構(gòu)： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
摘要： 研究了陽極氧化三氧化二鋁多孔膜的制備工藝,采用兩步陽極氧化法和獨特的后處理工藝獲得了孔洞分布均勻、孔徑大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了傳感器的濕敏特性:傳感器的濕滯<2%,響應(yīng)時間<10s,恢復(fù)時間<40s,性能非常優(yōu)良。
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