編號(hào)：NMJS06377
篇名：LPCVD法制備TiO2納米薄膜的物效及能效研究
作者：朱亞真 ;李濤 ;李延增
關(guān)鍵詞： TiO2納米薄膜 LPCVD 物效 能效
機(jī)構(gòu)： 大連理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院
摘要： 針對(duì)LPCVD法制備TiO2納米薄膜過(guò)程中物效和能效低的特點(diǎn),主要考慮沉積壓力、沉積溫度和物料的流量3個(gè)因素。研究了不同的工藝參數(shù)在沉積一定時(shí)間后的物效、能效計(jì)算和分析方法。結(jié)果顯示,在一定的范圍內(nèi),壓力的提高能夠有效提高物效和能效;隨著溫度的升高,物效提高而能效先降低后提高;物料的流量越大物效越低,而能效先升高后降低。當(dāng)工藝參數(shù)400Pa,723K,2.67×10^-6m^3/s時(shí)物效最高（6.395%）;當(dāng)工藝參數(shù)為600Pa,723K,3.33×10^-6m^3/s時(shí)能效達(dá)到最高（0.201 4%）。
