編號(hào)：NMJS06263
篇名：垂直定向碳納米管的化學(xué)氣相沉積法制備及其應(yīng)用進(jìn)展
作者：李克訓(xùn)[1,2] ;馬江將[1,2] ;趙亞麗[1,2] ;周必成[1,2] ;江波[1,2,3]
關(guān)鍵詞： 垂直定向碳納米管 化學(xué)氣相沉積 傳感器 場(chǎng)發(fā)射
機(jī)構(gòu)： [1]中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第三十三研究所,太原030006; [2]電磁防護(hù)材料及技術(shù)山西省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,太原030006; [3]中國(guó)電子科技網(wǎng)絡(luò)信息安全有限公司,成都610093
摘要： 垂直定向碳納米管獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和性能使其成為碳納米管領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，而可控制備是其重點(diǎn)研究方向之一。概述了近年來(lái)垂直定向碳納米管的常用制備方法（熱化學(xué)氣相沉積和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）及其影響因素，以及垂直定向碳納米管在熱界面、光電、場(chǎng)發(fā)射和傳感器方面的研究進(jìn)展，重點(diǎn)介紹了一些具有優(yōu)異性能的研究領(lǐng)域以及存在的問題。
