編號：CPJS05317
篇名：柔性硬質納米復合涂層
作者：金德里奇·繆塞爾
關鍵詞：硬質納米復合涂層 微觀結構 宏觀應力 力學性能 能量 柔性 裂紋抑制 磁控濺射
機構： 西波西米亞大學物理和NTIS部,捷克比爾森CZ-30614
摘要： 研究了利用磁控濺射方法制備的柔性硬質納米復合涂層。結果表明柔性硬質納米復合涂層具有以下優(yōu)異性能：是一類具有高硬度、高韌性以及抗裂紋性能的新型涂層;具有較高的硬度模量比（H/E＊≥0.1,E＊=E/（1-ν2））、彈性恢復系數（We≥60%）、壓應力（σ〈0）L,且少缺陷的微觀結構;生長處于Thornton結構區(qū)域相圖的T區(qū)。磁控濺射非常適合制備納米復合涂層,文中將對其制備柔性納米復合薄膜的機理做深入闡述。涂層生長主要受以下3個參數影響：涂層生長過程中吸收的能量Ep,其包含沉積原子攜帶的能量Eca和轟擊離子攜帶等能量Ebi（Ep=Eca＋Ebi）,基體溫度Ts和涂層材料的熔點Tm。柔性硬質涂層具有廣泛的應用前景,如柔性保護涂層、柔性功能涂層、防脆性涂層開裂的柔性保護涂層以及柔性多層涂層。文中還將詳細闡述低溫磁控濺射制備柔性納米復合涂層的原理,并闡述納米復合涂層及其性能的發(fā)展趨勢。
