編號(hào)：FTJS06635
篇名：單晶石英表面低損傷的摩擦誘導(dǎo)納米加工研究
作者：宋晨飛 ;錢林茂
關(guān)鍵詞：納米加工 納米壓印 基體材料 高分辨率 表面加工 接觸壓力 誘導(dǎo)方法 探針技術(shù) 加工點(diǎn) 透射電鏡
機(jī)構(gòu)： 西南交通大學(xué)
摘要： 基于其優(yōu)異的物理化學(xué)性質(zhì)、良好的絕緣性以及高硬度高耐磨性,單晶石英廣泛應(yīng)用于光柵、納米壓印模板等高精密產(chǎn)品的基體材料。當(dāng)前單晶石英的納米加工技術(shù)面臨著分辨率難以提升,過程復(fù)雜等技術(shù)瓶頸,而且石英表面加工損傷會(huì)顯著影響石英器件的服役行為,因此,亟待研究提出高分辨率、簡(jiǎn)捷、低損傷的石英表面納米加工方法。
