編號(hào)：CPJS00527
篇名：硅粉雜質(zhì)對(duì)三氯氫硅合成啟動(dòng)及運(yùn)行的影響
作者：周謐; 屈敏; 黎展容; 蒲曉東;
關(guān)鍵詞：三氯氫硅; 合成; 工業(yè)硅粉; 三氯化鋁;
機(jī)構(gòu)： 四川新光硅業(yè)科技有限公司;
摘要： 討論了工業(yè)硅粉中Fe、Al、Ca等雜質(zhì)的含量對(duì)三氯氫硅合成系統(tǒng)的啟動(dòng)以及正常運(yùn)行時(shí)的影響,并選擇不同雜質(zhì)含量的硅粉進(jìn)行實(shí)驗(yàn),以找到最適合三氯氫硅合成的生產(chǎn)工藝。
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