編號：NMJS05878
篇名：電子元件用含He納米晶鈦膜高溫退火后的He相關缺陷變化
作者：洪超
關鍵詞：退火處理 缺陷結構 含He納米晶鈦膜
機構： 景德鎮(zhèn)陶瓷學院機電學院
摘要： 退火處理對材料的缺陷結構有一定的影響。本文以鈦圓盤作為陰極靶,Si作為襯底,采用直流磁控濺射制備不同濃度的電子元件用含He納米晶鈦膜,然后對其進行高溫退火處理后進行觀察分析。最后得到結論,電子元件用含He納米晶鈦膜中生成有擇優(yōu)取向的TiSi2晶體,經(jīng)過退火處理后的試樣鈦膜表面層以及保護層的缺陷結構產生變化。該研究為含He納米晶鈦膜的研究應用提供了有用參考。
