編號(hào)：NMJS05730
篇名：全頻段亞納米精度氟化鈣材料加工
作者：張春雷 ;徐樂 ;劉健 ;馬占龍 ;王飛 ;谷永強(qiáng) ;代雷 ;彭石軍
關(guān)鍵詞：氟化鈣 投影光刻物鏡 精密光學(xué)加工 亞納米精度加工 離子束修形(IBF)
機(jī)構(gòu)： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所超精密光學(xué)工程研究中心,吉林長春130033
摘要： 考慮用CaF_2材料制作投影光刻物鏡可以明顯提高其性能指標(biāo),本文研究了CaF_2材料加工工藝的全流程,以實(shí)現(xiàn)CaF_2材料的全頻段高精度加工。首先,利用瀝青拋光膜和金剛石微粉使CaF_2元件有較好的面形和表面質(zhì)量。然后,優(yōu)化轉(zhuǎn)速、拋光盤移動(dòng)范圍、壓力等加工工藝參數(shù),并使用硅溶膠溶液拋光進(jìn)一步降低CaF_2元件的高頻誤差,逐漸去除加工中產(chǎn)生的劃痕并且獲得極小中頻誤差（Zernike殘差）和高頻粗糙度。最后,在不改變CaF_2元件高頻誤差的同時(shí)利用離子束加工精修元件面形。對100mm口徑氟化鈣材料平面進(jìn)行了加工和測試。結(jié)果表明：其Zernike 37項(xiàng)擬合面形誤差RMS值可達(dá)0.39nm,Zernike殘差RMS值為0.43nm,高頻粗糙度均值為0.31nm,實(shí)現(xiàn)了對CaF_2元件的亞納米精度加工,為研發(fā)高性能深紫外投影光刻物鏡奠定了良好基礎(chǔ)。
