編號(hào)：NMJS05678
篇名：半導(dǎo)體制造業(yè)用微納米碳化硅粉體制備工藝研究
作者：鐵健 ;鐵生年
關(guān)鍵詞：微納米碳化硅粉體 粒徑分布 水流分級(jí) 沖擊磨
機(jī)構(gòu)： 青海大學(xué)新能源光伏產(chǎn)業(yè)研究中心,西寧810016
摘要： 采用水流分級(jí)和高能納米沖擊磨對(duì)原始SiC粉料進(jìn)行微納米粉體加工。研究結(jié)果表明：水流分級(jí)得到純度98．42％、中位粒徑0．404μm的SiC粉體，比表面積由0．8879m^2／g提高到8．0321m^2／g；高能沖擊磨得到純度95．5％、中位粒徑0．257μm的SiC粉體，比表面積由0．8879m^2／g提高到8．2773m^2／g，SiC的粒徑及比表面積達(dá)到半導(dǎo)體制造業(yè)用微納米碳化硅粉體的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。純度分析表明碳化硅粉體的水流分級(jí)未引入雜質(zhì)，化學(xué)成分基本不變；SiC粉體沖擊磨加工純度下降，其他雜質(zhì)含量偏高。粉體形貌分析表明原始SiC粉料形貌為非球形，粒度分布不均勻，水流分級(jí)和沖擊磨加工碳化硅粉體形貌為非球形，粒度分布較加工前更均勻。
