編號(hào)：CPJS03987
篇名：溶膠凝膠制備高阻AZO和電阻率的測試
作者：翟耘萱[1] ;張翼[1] ;于航[1]
關(guān)鍵詞：溶膠-凝膠 氧化鋅混合氧化鋁薄膜薄膜 微通道板導(dǎo)電層
機(jī)構(gòu)： [1]長春理工大學(xué)理學(xué)院,吉林長春130022
摘要： 氧化鋅混合氧化鋁薄膜是由導(dǎo)體的氧化鋅和絕緣體的氧化鋁充分混合而成的復(fù)合材料。隨著氧化鋅和氧化鋁的組成變化，氧化鋅混合氧化鋁薄膜的電阻率可以在10^-2Ωcm到10^16Ωcm變化。氧化鋅混合氧化鋁薄膜出現(xiàn)為微通道板打拿極導(dǎo)電層提供了一種新的材料選擇。以二水合乙酸鋅和六水合氯化鋁為前驅(qū)物，用溶膠-凝膠的方法制備四個(gè)組分的氧化鋅混合氧化鋁薄膜樣品。用原子力顯微鏡和伏安法測方塊電阻的方式對薄膜的表面形貌和電阻率表征。最后對測試的電阻數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，得到樣品鋁含量和樣品電阻率的關(guān)系曲線。
