編號：NMJS05406
篇名：用靜電自組裝法制備的石墨烯薄膜特性研究
作者：劉杰； 王彬； 石瑞英； 王婧； 劉沛波； 吳運熹； 翁志超；
關鍵詞：靜電自組裝； 層數(shù)可控； 石墨烯； 肼蒸汽還原； 紫外吸收光譜； 拉曼光譜；
機構： 四川大學物理科學與技術學院微電子學系； 微電子技術四川省重點實驗室； 四川大學化工學院；
摘要： 本文采用靜電自組裝技術制備石墨烯薄膜,以帶正電的聚乙烯亞胺作為粘結劑,將帶負電的氧化石墨烯自組裝在粘結劑上,形成多層氧化石墨烯/聚乙烯亞胺復合膜,然后在肼蒸汽下還原得到石墨烯薄膜樣品,并利用石墨烯薄膜的紫外吸收光譜、橢圓偏振光譜、掃描電鏡圖譜及拉曼光譜對其層數(shù)、厚度、形貌及還原效果進行了研究。研究表明此方法制備的石墨烯薄膜具有雜質(zhì)含量少、層數(shù)與膜厚微觀可控且膜厚均勻等優(yōu)點。通過調(diào)節(jié)組裝材料種類、濃度和組裝次數(shù)可制備出結構和功能自由控制的石墨烯薄膜,且此方法與微電子工藝兼容,易于制作石墨烯晶體管,因此在石墨烯晶體管領域具有廣闊的應用前景。
