石墨烯晶體管研究進展

編號：NMJS05378

篇名：石墨烯晶體管研究進展

作者：李昕； 郭士西； 宋輝； 李全福； 師俊杰； 方明； 王小力； 劉衛(wèi)華

關(guān)鍵詞：石墨烯晶體管； 禁帶； 截止頻率； 最大振蕩頻率； 柔性晶體管；

機構(gòu)： 西安交通大學電子與信息工程學院；

摘要： 針對集成電路的特征尺寸小于10nm以下所面臨的短溝道效應(yīng)、隧道效應(yīng)和制造工藝限制困難引發(fā)的研究熱點——石墨烯能否替代硅,著重從數(shù)字晶體管、射頻晶體管和柔性透明晶體管3個方面概括和分析了新型石墨烯晶體管的發(fā)展現(xiàn)狀。分析認為:石墨烯平行納米帶陣列結(jié)構(gòu)和異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)有望打開石墨烯禁帶以實現(xiàn)大的電流開關(guān)比,將是石墨烯數(shù)字晶體管的研究熱點;通過降低接觸電阻、接入電阻以及襯底、柵介質(zhì)的匹配來提高截止頻率和最大振蕩頻率將是石墨烯射頻晶體管的主要發(fā)展趨勢;基于聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底和離子凝膠柵介質(zhì)的柔性制造技術(shù),最有希望在保證石墨烯高遷移率的基礎(chǔ)之上實現(xiàn)全石墨烯透明柔性電路,使石墨烯晶體管得以實用,必將對集成電路行業(yè)產(chǎn)生巨大影響。