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        粉末特性和加工工藝參數(shù)對鉬板組織和性能影響的研究

        編號:FTJS05197

        篇名:粉末特性和加工工藝參數(shù)對鉬板組織和性能影響的研究

        作者:傅崇偉; 魏修宇;

        關(guān)鍵詞:粉末特性; 等靜壓; 熱軋;

        機構(gòu): 株洲硬質(zhì)合金集團有限公司; 硬質(zhì)合金國家重點實驗室;

        摘要: 工業(yè)純鉬板材被廣泛用作LCD行業(yè)的濺射靶材,原始粉末特性和加工工藝參數(shù)對鉬板的組織和性能有著很大的影響。本文采用三種不同粒度的鉬粉,設(shè)置了不同的等靜壓制及軋制工藝,制備出鉬板及相應(yīng)試樣,并采用掃描電鏡、金相觀察及硬度、密度測試等手段對各樣品組織和性能進行了表征。研究結(jié)果表明:采用3.3μm中等粒度且粒度分布均勻的鉬粉可制備出密度更高且晶粒更細的燒結(jié)鉬板坯;采用160 MPa保壓10 min并分級卸壓的等靜壓工藝可制備出整體密度更高的燒結(jié)板坯,但并不能減小燒結(jié)板坯的內(nèi)外密度差;減小軋制火次有助于得到細小晶粒組織,采用一火多道軋制工藝制備得到的鉬板在退火后平均晶粒大小為30μm。

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