編號:CPJS02946
篇名:鉬粉形貌對濺射靶材微觀組織的影響
作者:李晶; 安耿; 劉仁智;
關鍵詞:鉬粉; 濺射靶材; 微觀組織;
機構: 金堆城鉬業(yè)股份有限公司技術中心;
摘要: 選用兩種不同形貌的鉬粉,經(jīng)過壓制、燒結、軋制、退火得到靶材產(chǎn)品,通過對金相組織的分析,得出顆粒大小均勻、無團聚的鉬粉制備出的靶材組織較好,且大變形量有利于得到細小的組織結構。