編號：NMJS05049
篇名：新型納米加工技術(shù)的研究
作者：朱團； 王英； 刑艷； 劉立紅； 郭雙林；
關(guān)鍵詞：納米材料； 自組裝； 納米加工技術(shù)； 研究；
機構(gòu)： 黑河學(xué)院物理化學(xué)系； 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院； 東北師范大學(xué)化學(xué)學(xué)院膠體與界面研究所；
摘要： 新型納米加工技術(shù)是近幾年迅速發(fā)展并取得突破性進展的一種納米制造技術(shù),利用無機納米材料及無機—有機納米復(fù)合圖形材料制備納米圖形化掩模,結(jié)合納米刻蝕技術(shù)實現(xiàn)小于30 nm的圖形結(jié)構(gòu)制備�？朔藗鹘y(tǒng)光刻技術(shù)對尺寸的限制和電子束光刻等在設(shè)備和生產(chǎn)速度上的限制,為從宏觀到微觀納米圖形制作開辟了新途徑。通過新型納米加工技術(shù)的研究,克服了傳統(tǒng)光刻技術(shù)對尺寸的限制和電子束光刻等在設(shè)備和生產(chǎn)速度上的限制,為從宏觀到微觀納米圖形制作開辟了新途徑。
