流態(tài)床CVD法制氮化硅超微粉過程分析及實驗驗證

編號：CPJS00422

篇名：流態(tài)床CVD法制氮化硅超微粉過程分析及實驗驗證

作者：王勇; 周俊; 汪新顏; 姚奎鴻;

關(guān)鍵詞：流態(tài)床; CVD; 氮化硅; 硅烷; 熱力學(xué);

機構(gòu)： 浙江理工大學(xué)材料工程中心; 浙江理工大學(xué)圖書館;

摘要： 分析了硅烷氨解法制備氮化硅超微粉的化學(xué)氣相沉積(CVD)過程,討論了制備氮化硅超微粉體的3個關(guān)鍵工藝要素,并采用立式雙溫區(qū)流態(tài)床實驗裝置實現(xiàn)氮化硅超微粉體的制備,獲得粉體合成過程的一些關(guān)鍵控制參數(shù)。