編號:CPJS02504
篇名:高純鉬濺射靶材的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
作者:楊帆; 王快社; 胡平; 何歡承; 康軒齊; 王華; 劉仁智;
關(guān)鍵詞:鉬; 濺射靶材; 現(xiàn)狀; 發(fā)展趨勢;
機(jī)構(gòu): 西安建筑科技大學(xué)冶金學(xué)院; 西安電爐研究所有限公司; 金堆城鉬業(yè)股份有限公司;
摘要: 對高純鉬濺射靶材的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀進(jìn)行了介紹,對高純鉬濺射靶材急需解決的幾個(gè)問題和發(fā)展趨勢做了探討,并且對其今后的研究和發(fā)展提出了建設(shè)性意見。