編號：FTJS04443
篇名：鎢金屬化氧化鋁陶瓷基片的脫脂工藝研究
作者：蔣文娟； 孟凡濤； 潘光慎； 王珊； 單連聚
關(guān)鍵詞：氧化鋁陶瓷基片； 金屬化； 脫脂
機構(gòu)： 山東理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院
摘要： 采用熱分析、顯微分析、掃描電鏡分析等方法對樣品進行檢測,研究了鎢金屬化氧化鋁陶瓷基片的脫脂工藝,確定了合理的脫脂升溫制度和脫脂氣氛。結(jié)果表明,脫脂升溫速率為1~2℃/min,并于215℃、350℃保溫15min,脫脂后樣品光滑平整,宏觀無缺陷;濕氫氣氣氛下脫脂可以將有機成分完全排除,避免了出現(xiàn)碳殘余、金屬化層被氧化以及脫層等問題。
