編號：CPJS02036
篇名：化學(xué)氣相沉積法制備鎢系列產(chǎn)品特點(diǎn)及工藝分析
作者：陳志剛； 顏彬游； 馮振雷；
關(guān)鍵詞：鎢系列產(chǎn)品； 化學(xué)氣相沉積法； 工藝流程； 設(shè)備體系； 材料特性；
機(jī)構(gòu)： 廈門鎢業(yè)股份有限公司；
摘要： 介紹了利用化學(xué)氣相沉積(CVD)法制備鎢系列產(chǎn)品(包括鎢管、鎢坩堝、鎢異型件等純鎢產(chǎn)品和銅基/鎢基/鉬基/石墨基等涂層產(chǎn)品)的工藝流程及設(shè)備體系。CVD法制得的鎢系列產(chǎn)品特點(diǎn)有:密度高,其密度值達(dá)到理論密度的98.5%以上;純度高,鎢含量達(dá)到99.999 9%;微觀組織為柱狀晶或多層柱狀晶結(jié)構(gòu);涂層類產(chǎn)品鎢與基體結(jié)合強(qiáng)度高。
