編號(hào)：NMJS04895
篇名：飛秒四光束干涉技術(shù)加工石墨烯納米網(wǎng)
作者：李艷； 陳輝； 代克杰
關(guān)鍵詞：石墨烯； 納米網(wǎng)； 飛秒激光； 四光束干涉； 微納加工；
機(jī)構(gòu)： 平頂山學(xué)院電氣信息工程學(xué)院 高壓智能開關(guān)工程技術(shù)研究中心；
摘要： 由于石墨烯的特殊半導(dǎo)體性質(zhì),實(shí)現(xiàn)其在電子器件中實(shí)際應(yīng)用的關(guān)鍵是對(duì)石墨烯層進(jìn)行微納結(jié)構(gòu)處理。簡(jiǎn)單介紹了飛秒四光束干涉技術(shù)應(yīng)用于石墨烯微納加工的優(yōu)勢(shì)。對(duì)實(shí)現(xiàn)飛秒四光束干涉的兩種實(shí)驗(yàn)方法進(jìn)行了介紹并比較。然后選用改進(jìn)的衍射分束方法對(duì)石墨烯進(jìn)行加工,得到規(guī)則的二維納米網(wǎng)結(jié)構(gòu),網(wǎng)線的最小寬度可達(dá)600 nm左右。與Matlab理論模擬的四光束干涉花樣進(jìn)行比較,通過調(diào)整干涉光束的能量,使得加工的結(jié)構(gòu)更加規(guī)則,和理論花樣十分吻合。該方法將對(duì)石墨烯微納結(jié)構(gòu)處理及其在集成微電子器件中的應(yīng)用帶來新的思路。
