編號：FTJS04019
篇名：鋯鈦酸鉛薄膜的生長與表征
作者：張翊； 潘峰； 包達群； 王建艷； 郭航；
關(guān)鍵詞：鋯鈦酸鉛薄膜； 熱處理； 退火； 鐵電特性； 溶膠凝膠法；
機構(gòu)： 廈門大學薩本棟微米納米科學技術(shù)研究院； 廈門大學物理與機電工程學院；
摘要： 研究了如何利用溶膠凝膠法制備鋯鈦酸鉛(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并對該薄膜的進行了表征測試。根據(jù)分子式設(shè)計了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于鈦(Ti)及鉑/鈦(Pt/Ti)基底上。利用X射線衍射儀(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的形貌、成分進行了表征測試。在此基礎(chǔ)上,采用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝,開發(fā)了可用于測試PZT薄膜材料特性的工藝流程與測試樣品。然后,利用標準鐵電測試儀對不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的極化強度進行了鐵電特性測試。結(jié)果表明,在400℃進行熱處理,650℃進行退火的條件下制備出的PZT薄膜其成分和形貌比較好,鐵電特性較優(yōu),能夠應(yīng)用于MEMS器件與納米器件的制造中。
