編號(hào)：CPJS01925
篇名：氧化鎳薄膜阻變特性研究進(jìn)展
作者：李建昌； 王玉磊； 侯雪艷； 徐彬； 巴德純；
關(guān)鍵詞：氧化鎳薄膜； 阻變特性； 開(kāi)關(guān)機(jī)理； 器件結(jié)構(gòu)； 導(dǎo)電細(xì)絲；
機(jī)構(gòu)： 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院 真空與流體工程研究中心；
摘要： 氧化鎳薄膜因非揮發(fā)性、低功耗、開(kāi)關(guān)重復(fù)性好及阻值窗口大等優(yōu)勢(shì)而成為廣泛研究的阻變材料之一。本文從器件結(jié)構(gòu)、阻變機(jī)理及影響因素等方面,綜述了氧化鎳薄膜阻變特性研究進(jìn)展。結(jié)果表明:氧化鎳薄膜阻變機(jī)理主要為金屬細(xì)絲或空位細(xì)絲,但有關(guān)細(xì)絲形成條件仍無(wú)定論;引入PN結(jié)的夾層薄膜結(jié)構(gòu)因形成界面缺陷可使開(kāi)關(guān)比提高三個(gè)數(shù)量級(jí)到105;高價(jià)元素替位摻雜致薄膜內(nèi)Ni0濃度增大而降低其阻變離散性;薄膜厚度及退火溫度與時(shí)間可明顯影響其阻變閾值電壓。目前有關(guān)氧化鎳薄膜阻變特性研究較多,下一步可將小尺度器件、低功耗及高密度集成納米晶阻變特性作為研究方向,深入討論其阻變機(jī)理。
