編號：NMJS04656
篇名：利用自組裝Ni納米點為掩膜制備GaN納米柱陣列
作者：吳玉新； 曹玉萍
關鍵詞：Ni納米點； 自組裝； 快速熱退火(RTA)； GaN納米柱陣列； GaN模板
機構： 山東女子學院信息技術學院； 齊魯工業(yè)大學理學院
摘要： 采用等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)和電子束蒸發(fā)法在Si基GaN模板上先后淀積一層SiO2和Ni薄膜,接著在氮氣中快速熱退火(RTA)自組裝生長Ni納米點,最后以Ni納米點為掩膜制備GaN納米柱陣列,研究其制備條件的影響。掃描電鏡(SEM)分析顯示,隨著Ni層厚度的減小、退火溫度的降低和時間的延長,Ni納米點的平均尺寸減小、密度增大。光致發(fā)光譜(PL)研究表明,GaN納米柱比GaN模板的發(fā)光強度提高了約20倍,帶邊峰發(fā)生27 meV藍移,這歸因于GaN納米柱具有較大的比表面積和張應力的部分弛豫。
