編號(hào)：NMJS04519
篇名：二氧化釩納米孔洞薄膜的光學(xué)特性
作者：梁倩； 李毅； 方寶英； 嚴(yán)夢(mèng)； 王鋒； 覃源； 丁杰； 佟國(guó)香； 王曉華； 陳少娟； 陳建坤； 鄭鴻柱； 袁文瑞
關(guān)鍵詞：二氧化釩； 薄膜； 孔洞； 有效介質(zhì)理論； 透過(guò)率
機(jī)構(gòu)： 上海理工大學(xué)； 上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 上海電力學(xué)院
摘要： 為了進(jìn)一步改善二氧化釩(VO2)薄膜的光學(xué)特性,基于有效介質(zhì)近似理論和VO2在不同溫度和波長(zhǎng)下的折射率和消光系數(shù),建立了研究VO2納米周期孔洞薄膜光學(xué)特性的數(shù)學(xué)模型。采用磁控濺射和氧化退火方法,先在石英襯底上制備VO2薄膜,再經(jīng)多孔氧化鋁掩膜和離子束刻蝕工藝,制備了VO2納米孔洞薄膜。結(jié)果表明,隨著孔隙率的增加,反射率最低點(diǎn)向短波長(zhǎng)移動(dòng)。與在石英襯底上制備的VO2薄膜相比,VO2納米孔洞薄膜的透過(guò)率明顯優(yōu)于VO2薄膜,在紅外區(qū)域透過(guò)率提高了20%,具有較好的熱致變色特性和應(yīng)用潛力。
