編號(hào)：NMJS04328
篇名：基于廣義橢偏儀的納米光柵無(wú)損檢測(cè)
作者：馬智超； 徐智謀； 彭靜； 孫堂友； 陳修國(guó)； 趙文寧； 劉思思； 武興會(huì)； 鄒超； 劉世元；
關(guān)鍵詞：納米壓�。� 光柵； 無(wú)損檢測(cè)； 擬合；
機(jī)構(gòu)： 華中科技大學(xué)光學(xué)與電子信息學(xué)院； 武漢科技大學(xué)理學(xué)院； 華中科技大學(xué)數(shù)學(xué)制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；
摘要： 本文制備了硅基和光刻膠兩種材料的納米光柵,利用自研制的新型廣義橢偏儀對(duì)該納米結(jié)構(gòu)的光柵進(jìn)行了測(cè)量,隨后利用建立的擬合模型對(duì)其測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了擬合,結(jié)果證明了運(yùn)用該儀器進(jìn)行納米光柵結(jié)構(gòu)無(wú)損檢測(cè)的可行性,在入射角60,方位角75的測(cè)量條件下,納米結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸、側(cè)壁角等三維形貌參數(shù)的測(cè)量精度最大可達(dá)99.97%,最大誤差小于1%,該技術(shù)對(duì)于無(wú)損檢測(cè)有著一定的推動(dòng)意義.
