編號：CSJS00088
篇名：SiO_2鈍化膜中鈉離子的二次離子質(zhì)譜分析
作者：馬農(nóng)農(nóng)； 何友琴； 王東雪； 陳瀟；
關(guān)鍵詞：鈍化膜； 鈉離子濃度； 二次離子質(zhì)譜分析；
機構(gòu)： 中國電子科技集團公司第四十六研究所；
摘要： 采用二次離子質(zhì)譜分析手段,檢測半導體晶片SiO2鈍化膜中鈉離子的濃度分布,采用標樣法,計算得出相對靈敏度因子,給出濃度隨深度的定量測試結(jié)果 ,結(jié)果表明,該方法檢測靈敏度較高,既給出鈉離子在鈍化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了鈉離子的分布特點。
