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一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝
上海矽諾國際貿(mào)易有限公司 2020-11-04 點擊1259次
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(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為≥99 .95%,粒徑分別為25μm和40μm)按照重量比為10:1的比例裝入球磨機(jī)中,然后加入硬脂酸乙酯和氧化鋯磨球(粒徑1 .5mm),在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨,所述的球磨時間為150min,球磨轉(zhuǎn)速為800r/min,過篩,分離得到粒徑為8μm鉬鈮合金復(fù)合粉末;
所述硬脂酸乙酯、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .05、20倍;
(2)將步驟(1)鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理,接著進(jìn)行冷等靜壓成型,冷等靜壓的壓力為250MPa,保壓時間為6min,得到壓制毛坯;
(3)將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型,燒結(jié)溫度為2200℃,燒結(jié)時間5 h,得到靶材毛坯;
(4)將靶材毛坯經(jīng)過機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材,鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織,組織均勻無孔洞,平均晶粒尺寸65μm,密度9 .86g/cm3。