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上海矽諾國(guó)際貿(mào)易有限公司 2020-09-17 點(diǎn)擊1785次
1.1氣相沉積法
氣相沉積法包括化學(xué)氣相沉積法(CVD)和物理氣相沉積法(PVD).CVD是一種用于生產(chǎn)高質(zhì)量、高性能的固體材料的化學(xué)過(guò)程，這個(gè)方法通常應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜制造.PVD是一種真空沉積法，可以用來(lái)制作薄膜和涂層.PVD是材料從凝聚態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，然后再轉(zhuǎn)變?yōu)槟蹜B(tài)薄膜的一個(gè)過(guò)程.最常見(jiàn)的PVD過(guò)程是濺射和蒸發(fā).PVD常用于制造具有機(jī)械、光學(xué)、化學(xué)或電學(xué)性能的薄膜 [14].
1.2高溫固相合成
高溫固相合成是一種在高溫(1 000～1 500 ℃ )下，通過(guò)固體界面之間的接觸、反應(yīng)、成核和晶體生長(zhǎng)反應(yīng)生成大量的復(fù)合氧化物的方法.高溫固相合成應(yīng)是制備硅碳復(fù)合材料一種常用方法，為了防止惰性相硅碳的生成，反應(yīng)溫度通?？刂圃?200 ℃ [15].在反應(yīng)過(guò)程中，溫升速率、反應(yīng)前驅(qū)物的選擇和反應(yīng)溫度的高低將直接影響材料的結(jié)構(gòu)和性能.高溫固相合成技術(shù)因工藝簡(jiǎn)單，工藝參數(shù)易于控制，重現(xiàn)性好而被廣泛應(yīng)用.
1.3機(jī)械合金化
與高溫固相合成法相反，機(jī)械合金化法制備的材料通常具有更小的粒度，更大的比表面積和更均勻的組織[16].機(jī)械合金化是一種固態(tài)粉末加工技術(shù)，涉及重復(fù)冷焊、壓裂和在高能球磨機(jī)中重新焊接混合粉末粒子，從而獲得均勻材料的方法，已被證明能夠從混合元素或預(yù)合金粉末中合成各種平衡和非平衡合金相[17].
1.4靜電紡絲
靜電紡絲是一種利用靜電來(lái)噴射聚合物溶液或聚合物的帶電細(xì)絲的纖維生產(chǎn)方法，其直徑一般為幾百納米.靜電紡絲技術(shù)融合了電噴涂和傳統(tǒng)的溶液干法紡絲纖維的優(yōu)點(diǎn)[18].該過(guò)程不需要使用化學(xué)凝固或高溫來(lái)從溶液中產(chǎn)生紡絲，這使得該工藝特別適用于大而復(fù)雜的微粒生產(chǎn)纖維 [19-20].靜電紡絲技術(shù)是可利用各種材料制備納米纖維的一種低成本、工藝簡(jiǎn)單的通用方法，改進(jìn)工藝后的同軸靜電紡絲技術(shù)可制備納米管和核殼結(jié)構(gòu)納米纖維