國(guó)儀量子電鏡在硅穿孔（TSV）銅填充空洞檢測(cè)的應(yīng)用報(bào)告

一、背景介紹

在半導(dǎo)體封裝技術(shù)持續(xù)演進(jìn)的當(dāng)下，硅穿孔（TSV）技術(shù)憑借其能實(shí)現(xiàn)芯片間高效垂直互連、顯著提升集成度和性能的優(yōu)勢(shì)，成為先進(jìn)封裝的關(guān)鍵技術(shù)，廣泛應(yīng)用于 3D 芯片堆疊、系統(tǒng)級(jí)封裝等領(lǐng)域。在 TSV 工藝中，銅填充是極為關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，高質(zhì)量的銅填充可保障信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性與可靠性。然而，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，銅填充時(shí)極易出現(xiàn)空洞缺陷。這些空洞會(huì)增大電阻，引發(fā)信號(hào)傳輸延遲、損耗，甚至在熱應(yīng)力作用下導(dǎo)致銅柱斷裂，嚴(yán)重影響芯片的電氣性能和長(zhǎng)期可靠性。因此，精準(zhǔn)檢測(cè) TSV 銅填充空洞，對(duì)提升芯片制造質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本、推動(dòng)半導(dǎo)體封裝技術(shù)發(fā)展意義重大。傳統(tǒng)檢測(cè)方法在檢測(cè)微小空洞時(shí)存在精度欠佳、難以直觀呈現(xiàn)空洞形貌等不足，難以滿足日益增長(zhǎng)的高精度檢測(cè)需求。

二、電鏡應(yīng)用能力

（一）高分辨率成像檢測(cè)空洞

國(guó)儀量子 SEM3200 電鏡具備出色的高分辨率成像能力，能夠清晰呈現(xiàn) TSV 銅填充區(qū)域的微觀結(jié)構(gòu)。在檢測(cè)空洞時(shí)，可精準(zhǔn)識(shí)別微小空洞，哪怕是尺寸極小的空洞也無(wú)處遁形。通過(guò)高分辨率成像，能清晰觀察到空洞的形狀、大小、位置以及分布情況，為后續(xù)分析提供直觀且精確的圖像依據(jù)。例如，可清晰分辨出圓形、橢圓形等不同形狀的空洞，以及它們?cè)阢~填充層中的具體位置，便于準(zhǔn)確評(píng)估空洞對(duì) TSV 性能的影響程度。

（二）截面分析確定空洞特征

借助 SEM3200，對(duì) TSV 進(jìn)行截面觀察分析，能深入了解空洞的內(nèi)部特征。可以測(cè)量空洞的深度、與周圍銅層的邊界情況等關(guān)鍵參數(shù)。通過(guò)對(duì)截面的細(xì)致觀察，還能判斷空洞是否與 TSV 壁存在間隙，以及空洞周圍銅的結(jié)晶狀態(tài)等信息。這些詳細(xì)的特征分析有助于研究人員深入探究空洞形成的原因，為優(yōu)化銅填充工藝提供有力的數(shù)據(jù)支持。

（三）多區(qū)域掃描評(píng)估整體質(zhì)量

利用 SEM3200 對(duì)多個(gè) TSV 銅填充區(qū)域進(jìn)行掃描檢測(cè)，可獲取大量樣本數(shù)據(jù)，從而對(duì)整體銅填充質(zhì)量進(jìn)行評(píng)估。通過(guò)分析不同區(qū)域空洞的數(shù)量、大小分布規(guī)律等，能夠判斷生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和一致性。例如，若在多個(gè)區(qū)域檢測(cè)到空洞數(shù)量和大小差異較大，就表明當(dāng)前工藝存在不穩(wěn)定因素，需要進(jìn)行調(diào)整優(yōu)化，以此確保芯片制造的整體質(zhì)量。

三、產(chǎn)品推薦

國(guó)儀量子 SEM3200 是 TSV 銅填充空洞檢測(cè)的理想設(shè)備。其高分辨率成像性能，能夠精準(zhǔn)檢測(cè)微小空洞，滿足高精度檢測(cè)需求。操作簡(jiǎn)便，研究人員無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)即可熟練操作，大大提高檢測(cè)效率。設(shè)備穩(wěn)定性強(qiáng)，長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行也能保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。此外，SEM3200 性價(jià)比高，為半導(dǎo)體制造企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)提供了經(jīng)濟(jì)高效的檢測(cè)方案。選擇 SEM3200，能助力企業(yè)有效提升芯片制造質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，在半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域占據(jù)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展。