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        中國科大SEM5000X順利通過驗收,繼續(xù)免費試運行

        中國科大SEM5000X順利通過驗收,繼續(xù)免費試運行
        國儀精測  2024-11-28  |  閱讀:193

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        *本文轉(zhuǎn)載自中國科大理化科學(xué)實驗中心微信公眾號

        (原標(biāo)題:中心首臺國產(chǎn)高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡順利通過驗收)


        近日,中國科大理化科學(xué)實驗中心電鏡影像平臺購置的國儀量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調(diào)試完畢,各項指標(biāo)符合要求,順利通過專家組聯(lián)合驗收。該設(shè)備于11月22日投入試運行,試運行期間校內(nèi)用戶免費。


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        驗收結(jié)束后,國儀量子代表正式遞交售后服務(wù)承諾書。


        儀器位于中國科大中區(qū)理化科學(xué)實驗中心一樓128房間,有需要的用戶可登中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化實驗中心網(wǎng)站進(jìn)行預(yù)約。


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        國儀量子原位高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡


        SEM5000X為國儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,該設(shè)備具有穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng),通過電子光學(xué)鏡筒設(shè)計優(yōu)化,綜合像差大大降低,實現(xiàn)了超高分辨率。擁有鏡筒內(nèi)高壓隧道模式,可在低壓下直接對高低起伏的不導(dǎo)電樣品進(jìn)行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩(wěn)定性,可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢,可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像,同時可進(jìn)行X射線能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學(xué)性能測試。配備了空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng),可對空氣敏感樣品進(jìn)行形貌、EDS及EBSD表征。


        主要參數(shù)


        • 二次電子圖像分辨率:0.6 nm @ 15 KV ,1.0 nm @ 1 KV

        • 放大倍數(shù):1x~2,500,000x

        • 加速電壓:20V~30 kV

        • 能譜儀(牛津AZtecLive UltimMax100 X):分辨率(MnKa)127 eV,分析元素范圍:5B ~ 92U

        • 電子背散射衍射儀(牛津Symmetry S3): 高速低噪音CMOS相機,分辨率1244*1024;在線解析最高標(biāo)定速度5700點/秒, 取向精度0.01度 

        • 原位納米壓痕系統(tǒng)(牛津FT-NMT04): 20mN力傳感器,載荷分辨率: ≤50 nN (噪音值);最大壓痕深度25μm,位移分辨率: ≤0.05 nm(噪音值);最大納米壓痕點陣測量面積:10mm x 10mm;最大疲勞測試頻率:500Hz


        應(yīng)用案例


        形貌像:


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        空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng):純Li氣氛保護前后樣品形貌:


        171235_340349_gsdt.png


        低活化鐵素體/馬氏體鋼晶粒取向圖:


        微信圖片_20241128170616.png


        單晶Si微柱壓縮動畫:


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