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11月15日，由中國儀器儀表學會分析儀器分會主辦的第九屆中國分析儀器學術大會（ACAIC 2024）在廣東省深圳市隆重開幕。國內(nèi)外600余位儀器專家、創(chuàng)新人才齊聚一堂，共同探討“下一代分析儀器”的發(fā)展。“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎”的頒獎活動與大會開幕式同期舉行，國儀量子研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X榮獲“創(chuàng)新成果獎”。

“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎”由中國儀器儀表學會設置，分析儀器分會組織開展，以紀念朱良漪同志矢志不渝推動我國分析儀器事業(yè)發(fā)展的精神，同時激發(fā)企業(yè)及廣大科技工作者積極投身于分析儀器創(chuàng)新工作。

此前，“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎”已成功頒發(fā)七屆，先后共計21項分析儀器獲得“創(chuàng)新成果獎”、29位年輕科學家獲得“青年創(chuàng)新獎”，3位儀器用戶獲得“應用創(chuàng)新獎”。

“創(chuàng)新成果獎”旨在獎勵能提升我國分析儀器整體實力和水平的具有創(chuàng)造性和實用價值的新成果，如研制出的新型關鍵零部件、新儀器等。SEM5000X的獲獎，體現(xiàn)了國儀量子在高端分析儀器領域的持續(xù)創(chuàng)新能力。

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電鏡，電子光學鏡筒設計優(yōu)化，綜合像差降低了30%，從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進納米結構和納米材料的研究、高端芯片半導體的研發(fā)制造等領域發(fā)揮其性能優(yōu)勢。

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