中國(guó)粉體網(wǎng)訊  石英玻璃具有一系列優(yōu)良的物理、化學(xué)性能，包括具有極低的熱膨脹系數(shù)、優(yōu)異的耐溫性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)良的電絕緣性、低而穩(wěn)定的超聲延遲性、最佳紫外、可見(jiàn)光及近紅外光譜透過(guò)率，并擁有高于普通玻璃的機(jī)械性能，利用各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)可以制作成石英玻璃錠材、管材、棒材、板材、坩堝、各種器皿和器件以及石英玻璃纖維和織物等產(chǎn)品，這些產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于需要提供高溫、潔凈、耐蝕、透光、濾波等各種特定的高新產(chǎn)品生產(chǎn)工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體、光通訊、光學(xué)、光伏、電光源、航空航天、核能激光等行業(yè)。

在半導(dǎo)體集成電路制造工藝過(guò)程中，石英坩堝、石英管、石英舟、石英支架等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程，對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠來(lái)講，石英制品參與生產(chǎn)工序長(zhǎng)，影響范圍廣，且石英制品必須要幾乎完整參與其產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程才能確定是否通過(guò)驗(yàn)收，石英制品一旦出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，直接影響其產(chǎn)品的合格率，故石英制品對(duì)于下游企業(yè)至關(guān)重要。

半導(dǎo)體用石英部件一般可分為高溫區(qū)器件和低溫區(qū)器件。其中，高溫工藝用石英部件由于需要在千度以上連續(xù)工作數(shù)小時(shí)，所以需要其具有耐高溫、熱穩(wěn)定性好、不易變形等性能。另外，還需具備耐腐蝕、透光性好、雜質(zhì)含量低等性能。

半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)加工流程中用到的石英制品

石英制品作為半導(dǎo)體設(shè)備的零部件和芯片生產(chǎn)工藝過(guò)程中的耗材，其應(yīng)用場(chǎng)景緊密結(jié)合半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過(guò)程。半導(dǎo)體工藝制程中，需要用到大量的石英制品，主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、清洗、封裝、擴(kuò)散、氧化等工藝。石英制品應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品主要包括石英舟、石英法蘭、石英玻璃坩堝、石英玻璃基片、石英鐘罩、石英管道、石英環(huán)等。

主要石英制品在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用

隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提速發(fā)展，用于半導(dǎo)體加工用的石英產(chǎn)品市場(chǎng)被越來(lái)越多的人們看好和關(guān)注，石英制造的企業(yè)也增加了很多，但是高品質(zhì)的石英制造商數(shù)量在國(guó)內(nèi)并不多，產(chǎn)能主要分布在北京、沈陽(yáng)、杭州、上海和湖州地區(qū)。未來(lái)，隨著石英市場(chǎng)行業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，將會(huì)吸引更多的企業(yè)進(jìn)入市場(chǎng)。

2025年4月23-24日，由中國(guó)粉體網(wǎng)、中粉會(huì)展主辦的“2025全國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)”將在江蘇南京召開(kāi)，屆時(shí)來(lái)自中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院有限公司的教授級(jí)高工聶蘭艦，將做題為《高純石英材料制品在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用》的報(bào)告。該報(bào)告將深入探討高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中的核心應(yīng)用價(jià)值。

聶蘭艦，教授級(jí)高工，現(xiàn)任建材工業(yè)石英玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任及石英新材料研究所副所長(zhǎng)。自2011年工作以來(lái)，一直從事高性能石英玻璃材料的制備技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)化等研究工作。先后作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人主持國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目10項(xiàng)，重點(diǎn)參與國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目十余項(xiàng)，研制出慣導(dǎo)用高均勻石英玻璃、大尺寸零膨脹石英玻璃、全合成石英管、無(wú)氯抗輻射石英玻璃、間接法合成高純無(wú)水石英玻璃和摻雜功能石英玻璃等多項(xiàng)石英玻璃新材料，為航天、強(qiáng)激光、半導(dǎo)體和精密光學(xué)等領(lǐng)域提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，獲授權(quán)專(zhuān)利31件（其中授權(quán)發(fā)明22件）、發(fā)表論文20余篇、參與論著2部、制修訂標(biāo)準(zhǔn)20余項(xiàng)，榮獲科技獎(jiǎng)7項(xiàng)。

參考來(lái)源：中國(guó)半導(dǎo)體用石英材料市場(chǎng)研究分析報(bào)告（2024~2027），粉體大數(shù)據(jù)研究

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/平安）

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