中國粉體網(wǎng)訊  石英玻璃具有一系列優(yōu)良的物理、化學(xué)性能，包括具有極低的熱膨脹系數(shù)、優(yōu)異的耐溫性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)良的電絕緣性、低而穩(wěn)定的超聲延遲性、最佳紫外、可見光及近紅外光譜透過率，并擁有高于普通玻璃的機(jī)械性能，利用各項優(yōu)點(diǎn)可以制作成石英玻璃錠材、管材、棒材、板材、坩堝、各種器皿和器件以及石英玻璃纖維和織物等產(chǎn)品，這些產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于需要提供高溫、潔凈、耐蝕、透光、濾波等各種特定的高新產(chǎn)品生產(chǎn)工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體、光通訊、光學(xué)、光伏、電光源、航空航天、核能激光等行業(yè)。

在半導(dǎo)體集成電路制造工藝過程中，石英坩堝、石英管、石英舟、石英支架等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程，對半導(dǎo)體晶圓廠來講，石英制品參與生產(chǎn)工序長，影響范圍廣，且石英制品必須要幾乎完整參與其產(chǎn)品的生產(chǎn)過程才能確定是否通過驗(yàn)收，石英制品一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，直接影響其產(chǎn)品的合格率，故石英制品對于下游企業(yè)至關(guān)重要。

半導(dǎo)體用石英部件一般可分為高溫區(qū)器件和低溫區(qū)器件。其中，高溫工藝用石英部件由于需要在千度以上連續(xù)工作數(shù)小時，所以需要其具有耐高溫、熱穩(wěn)定性好、不易變形等性能。另外，還需具備耐腐蝕、透光性好、雜質(zhì)含量低等性能。

半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)加工流程中用到的石英制品

石英制品作為半導(dǎo)體設(shè)備的零部件和芯片生產(chǎn)工藝過程中的耗材，其應(yīng)用場景緊密結(jié)合半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過程。半導(dǎo)體工藝制程中，需要用到大量的石英制品，主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、清洗、封裝、擴(kuò)散、氧化等工藝。石英制品應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品主要包括石英舟、石英法蘭、石英玻璃坩堝、石英玻璃基片、石英鐘罩、石英管道、石英環(huán)等。

主要石英制品在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用

隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提速發(fā)展，用于半導(dǎo)體加工用的石英產(chǎn)品市場被越來越多的人們看好和關(guān)注，石英制造的企業(yè)也增加了很多，但是高品質(zhì)的石英制造商數(shù)量在國內(nèi)并不多，產(chǎn)能主要分布在北京、沈陽、杭州、上海和湖州地區(qū)。未來，隨著石英市場行業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，將會吸引更多的企業(yè)進(jìn)入市場。

2025年4月23-24日，由中國粉體網(wǎng)、中粉會展主辦的“2025全國半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”將在江蘇南京召開，屆時來自中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司的教授級高工聶蘭艦，將做題為《高純石英材料制品在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用》的報告。該報告將深入探討高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中的核心應(yīng)用價值。

聶蘭艦，教授級高工，現(xiàn)任建材工業(yè)石英玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任及石英新材料研究所副所長。自2011年工作以來，一直從事高性能石英玻璃材料的制備技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)化等研究工作。先后作為項目負(fù)責(zé)人主持國家級科研項目10項，重點(diǎn)參與國家級科研項目十余項，研制出慣導(dǎo)用高均勻石英玻璃、大尺寸零膨脹石英玻璃、全合成石英管、無氯抗輻射石英玻璃、間接法合成高純無水石英玻璃和摻雜功能石英玻璃等多項石英玻璃新材料，為航天、強(qiáng)激光、半導(dǎo)體和精密光學(xué)等領(lǐng)域提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，獲授權(quán)專利31件（其中授權(quán)發(fā)明22件）、發(fā)表論文20余篇、參與論著2部、制修訂標(biāo)準(zhǔn)20余項，榮獲科技獎7項。

參考來源：中國半導(dǎo)體用石英材料市場研究分析報告（2024~2027），粉體大數(shù)據(jù)研究

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）

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