中國(guó)粉體網(wǎng)訊 7月9日，據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局顯示，浙江美晶新材料股份有限公司申請(qǐng)公布了一系列關(guān)于石英坩堝的專利：“一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝及其制備方法和半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法”“一種單晶硅用石英坩堝及其制備方法及半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法”“一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝及其制備方法”“一種石英坩堝及其制備方法與應(yīng)用”等。
一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝及其制備方法和半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法
該發(fā)明提供一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝及其制備方法和半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法，該制備方法包括石英砂成型工藝；石英砂成型工藝包括依次加入外層石英砂、中層石英砂和內(nèi)層石英砂；外層石英砂、中層石英砂和內(nèi)層石英砂的加入過(guò)程中，分別獨(dú)立地進(jìn)行抽真空處理；抽真空處理的真空頻率，隨著外層石英砂、中層石英砂和內(nèi)層石英砂的加入逐漸增大。該制備方法可以提高石英砂的堆積密度，防止石英砂在抽真空起弧時(shí)出現(xiàn)塌陷現(xiàn)象，導(dǎo)致出現(xiàn)氣泡不良，同時(shí)抑制了起弧瞬間的熱沖擊導(dǎo)致的內(nèi)層石英砂移動(dòng)以及端口石英砂熔化時(shí)團(tuán)聚移動(dòng)的現(xiàn)象，提高了石英坩堝以及單晶硅產(chǎn)品的品質(zhì)。
一種單晶硅用石英坩堝及其制備方法及半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法
該發(fā)明提供一種單晶硅用石英坩堝及其制備方法及半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生長(zhǎng)方法，該制備方法包括：對(duì)石英砂成型后的石英坩堝依次進(jìn)行排氣處理、封皮處理、透明層熔制、氣泡層熔制、退火和冷卻；退火處理包括：所述氣泡層熔制后的降溫過(guò)程中，監(jiān)測(cè)石英坩堝內(nèi)表面的溫度，至石英坩堝R角內(nèi)表面溫度降溫至應(yīng)力突變溫度區(qū)間，進(jìn)行抽真空處理，保持真空狀態(tài)至所述石英坩堝內(nèi)表面各區(qū)域溫度均勻。該制備方法可以降低或消除石英坩堝內(nèi)部應(yīng)力，提高石英坩堝的使用壽命，同時(shí)提高了石英坩堝的生產(chǎn)效率。
一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝及其制備方法
該發(fā)明提供一種半導(dǎo)體級(jí)合成石英坩堝的制備方法，該制備方法包括：對(duì)石英砂成型后的石英坩堝依次進(jìn)行排氣處理、封皮處理、透明層熔制、氣泡層熔制和冷卻；封皮處理、透明層熔制和氣泡層熔制過(guò)程中，水冷板與模具口的距離為50~80mm。該制備方法有效減少外界雜質(zhì)的進(jìn)入，降低外界對(duì)坩堝內(nèi)部熔融環(huán)境的影響，改善了合成石英坩堝R角內(nèi)表面純度高的問(wèn)題。
一種石英坩堝及其制備方法與應(yīng)用
該發(fā)明公開了一種石英坩堝及其制備方法與應(yīng)用，屬于石英坩堝制造技術(shù)領(lǐng)域。該石英坩堝的氣泡層包括直壁段和弧形段，直壁段包括由外至內(nèi)設(shè)依次設(shè)置的石英砂摻鋁層及第一石英砂氣泡層，弧形段為第二石英砂氣泡層；石英砂摻鋁層中摻鋁石英砂的鋁堿比為4~50；摻鋇層中含鋇溶液的濃度為0.5%~2%。通過(guò)在氣泡層的直壁段設(shè)置特定鋁堿比的石英砂摻鋁層，有利于提高直壁段的強(qiáng)度和粘度，減少高溫軟化現(xiàn)象，避免石英坩堝出現(xiàn)鼓包和褶皺等問(wèn)題，延長(zhǎng)石英坩堝的使用壽命；通過(guò)控制含鋇溶液中溶質(zhì)的濃度，也有利于提高晶棒成晶率。該石英坩堝的制備方法簡(jiǎn)單，操作容易，適于工業(yè)化生產(chǎn)。將該石英坩堝用于制備單晶硅，有利于提高單晶硅的成晶率。
圖源：美晶新材
據(jù)中國(guó)粉體網(wǎng)編輯了解，浙江美晶新材料股份有限公司（簡(jiǎn)稱“美晶新材”）為晶盛機(jī)電的控股子公司，創(chuàng)建于2017年，總部設(shè)立在浙江紹興，在浙江、內(nèi)蒙和寧夏建立生產(chǎn)基地，經(jīng)營(yíng)范圍包括石英坩堝產(chǎn)品的開發(fā)、制造和銷售；石英設(shè)備、石英晶體制品的加工、銷售；進(jìn)出口業(yè)務(wù)。
參考來(lái)源：國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局，美晶新材官網(wǎng)，中國(guó)粉體網(wǎng)
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/九思）
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