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        【原創(chuàng)】速覽:半導體石英坩堝基礎指南


        來源:中國粉體網   星耀

        [導讀]  半導體級石英坩堝具有純度高、質量穩(wěn)定、耐溫性強、節(jié)約能源等優(yōu)點,主要用于生長半導體單晶硅,用于制造集成電路、微電子器件等,是半導體產業(yè)發(fā)展中重要器具。

        中國粉體網訊  石英坩堝是拉制大直徑單晶硅棒的消耗性器皿,對拉晶質量有著重要影響。主要應用于光伏和半導體領域。


         

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        按應用,石英坩堝可分為兩大類:半導體(電子級)石英坩堝、光伏(太陽能級)石英坩堝。


        本文主要介紹半導體石英坩堝。


        半導體石英坩堝特點


        石英坩堝為半透明狀,可分為外層(不透明層)、中內層(真空透明層)。外層(不透明層)是高密度區(qū)域,內部含有大量氣泡,被稱為氣泡復合層,其受熱均勻,保溫效果好;中內層是3-5mm的透明層,均勻致密、表面光滑,可以增強坩堝的強度(抗形變),降低內表面的溫度(防失透),被稱為氣泡空乏層。


         


        半導體石英坩堝一般采用合成石英作為內層,天然石英作為外層,內外層之間有一層過渡層,以提高坩堝的強度和穩(wěn)定性。


        半導體石英坩堝對純度要求更高,一般要求SiO2純度大于99.998%,雜質含量低于10ppm,氣液包裹體含量低于100ppm。


        半導體級石英坩堝具有純度高、質量穩(wěn)定、耐溫性強、節(jié)約能源等優(yōu)點,主要用于生長半導體單晶硅,用于制造集成電路、微電子器件等,是半導體產業(yè)發(fā)展中重要器具。


        石英坩堝行業(yè)受其下游應用領域的發(fā)展影響較大。隨著半導體制程的不斷縮小,芯片制造工藝對半導體硅片缺陷容忍度不斷降低,尤其是在邏輯、存儲等高端 IC 芯片的制備過程中,對于半導體坩堝的潔凈度及均一性提出更為嚴苛的要求(高純半導體合成石英坩堝內層要求 8N 以上的純度)。


        半導體石英坩堝行業(yè)現(xiàn)狀


        半導體石英坩堝行業(yè)壁壘較高,行業(yè)集中度高。關于半導體石英坩堝產品,目前全球市場被外資企業(yè)主導,全球半導體石英坩堝前三大生產廠商美國 Momentive(其收購了 CoorsTek 的石英坩堝業(yè)務)、日本 SUMCO JSQ、日本 Shin-Etsu Quartz 占據(jù)了市場 85%的份額,其中 Shin-Etsu Quartz、SUMCO JSQ 分別所屬的集團 Shin-Etsu、SUMCO 又是排名全球前二的半導體硅片供應商,與國內半導體硅片產業(yè)有直接的競爭關系,如競爭關系加劇,其可能會對國內半導體硅片產業(yè)實施半導體石英坩堝的限制供應,對于國內半導體產業(yè)的發(fā)展極其不利。


        從需求端來看,2022年中國境內半導體石英坩堝需求量占全球需求總量的15.93%。隨著中國半導體硅片產業(yè)的蓬勃發(fā)展,中國境內半導體石英坩堝市場需求也將快速上升,據(jù)中金企信預測,2027年中國境內半導體坩堝市場規(guī)模有望從2022年的2.9億元增長至11億元,年復合增長率30.6%。


         


        在半導體石英坩堝領域,國外半導體產業(yè)逐漸轉移至國內,隨著新能源車、智能電網、自動駕駛、人工智能的發(fā)展,8 英寸及 12 英寸半導體硅片出貨量持續(xù)增長,我國半導體硅片供應商開始加碼大硅片產能布局,對半導體石英坩堝的需求持續(xù)增加,預計至 2027 年,全球半導體石英坩堝市場規(guī)模將擴大至 29.5 億人民幣,期間年復合增長率為 10.1%。目前,國內個別企業(yè)開展了 32 英寸半導體級石英坩堝的研發(fā)工作并具備量產能力。


         


        半導體石英坩堝發(fā)展態(tài)勢


        石英坩堝是半導體硅片生產中重要的輔料,隨著國內半導體產業(yè)的發(fā)展,半導體級石英坩堝市場需求持續(xù)攀升。


        ①隨著全球半導體產業(yè)向中國轉移,國產半導體石英坩堝市場占有率有望提升。


        在國家政策的扶持下,我國半導體產業(yè)的建設力度持續(xù)加強,進而有力帶動產業(yè)鏈上游石英坩堝需求的增長。未來隨著半導體領域國產替代進程的推進,國產石英坩堝在半導體領域的市場占有率將得到進一步提升。


        ②隨下游半導體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化,大尺寸高純度半導體石英坩堝將占據(jù)主流


        目前,國際半導體硅片出貨以12英寸硅片為主,我國半導體硅片供應商也開始加碼大硅片產能布局,近期國內主要半導體硅片企業(yè)有將大硅片(12英寸)產能翻倍的計劃。


        下游半導體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化加大了對大尺寸高純度半導體石英坩堝的需求。考慮國際貿易爭端帶來的技術封鎖風險,我國半導體硅片企業(yè)對國產半導體石英坩堝有更加緊迫性的需求。


        參考來源:

        中金企信國際咨詢《2024年全球與中國半導體坩堝行業(yè)主要企業(yè)占有率及排名分析預測》

        思瀚研究院《半導體產業(yè)及半導體石英坩堝行業(yè)發(fā)展情況》

        歐晶科技官網、年報

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        (中國粉體網編輯整理/星耀)

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        作者:星耀

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