中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,信產(chǎn)集團(tuán)所屬普照材料承擔(dān)的湖南省高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新引領(lǐng)計(jì)劃“高精度石英掩膜基版樣品試制項(xiàng)目”順利通過(guò)湖南省科技廳驗(yàn)收。
湖南省科技創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目是由省級(jí)財(cái)政專(zhuān)項(xiàng)資金安排,圍繞湖南省科技、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展重大戰(zhàn)略,面向科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)建設(shè)主戰(zhàn)場(chǎng)、面向湖南省重大科技需求,專(zhuān)門(mén)用于支持基礎(chǔ)研究、技術(shù)研發(fā)、成果轉(zhuǎn)化以及其他創(chuàng)新能力提升的科技活動(dòng)。項(xiàng)目驗(yàn)收采用同行評(píng)議、第三方評(píng)估和測(cè)試、用戶(hù)評(píng)價(jià)、現(xiàn)場(chǎng)核查等方式開(kāi)展一次性綜合績(jī)效評(píng)價(jià)。普照材料高精度石英掩膜基版樣品試制項(xiàng)目評(píng)價(jià)結(jié)論為“優(yōu)秀”(本期驗(yàn)收優(yōu)秀率約為15%)。
該項(xiàng)目總投資約2000萬(wàn)元,通過(guò)自主研發(fā)和合作開(kāi)發(fā),達(dá)成了TFT用石英基板產(chǎn)品平面度和平行度高性能指標(biāo)要求,攻克了Thin film膜系及PSM鉬硅膜系關(guān)鍵核心技術(shù)。為建設(shè)中的8.5代及以下高精度掩模基板項(xiàng)目實(shí)施提供了關(guān)鍵技術(shù)支持,同時(shí)為公司產(chǎn)品向半導(dǎo)體用掩;宓(jí)打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
未來(lái),普照材料將持續(xù)加大新技術(shù)、新工藝的研發(fā)應(yīng)用投入,加強(qiáng)研發(fā)平臺(tái)建設(shè),形成“以屏帶芯,屏芯齊進(jìn)”的戰(zhàn)略布局,為國(guó)產(chǎn)平板顯示與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
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