中國粉體網(wǎng)訊  近日，由TC447（全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會）歸口，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司、中國國檢測試控股集團(tuán)股份有限公司、玻璃新材料創(chuàng)新中心（安徽）有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、中國科學(xué)院微電子研究所、北京理工大學(xué)、中國計(jì)量科學(xué)研究院、中科院光電技術(shù)研究所、中科院上海硅酸鹽研究所、中建材玻璃新材料研究院集團(tuán)有限公司共同起草的國家標(biāo)準(zhǔn)《光刻用摻鈦石英玻璃》公開征求意見。

光刻機(jī)被譽(yù)為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，其光刻分辨率決定了集成電路圖形的特征尺寸。根據(jù)摩爾定律，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18-24月便會增加一倍，性能也將提升一倍。其中，縮短曝光波長是提高分辨率的最直接途徑，從上世紀(jì)80年代以來光刻技術(shù)所采用的光源波長經(jīng)歷了5代產(chǎn)品的發(fā)展，每次光源的改進(jìn)都顯著提升了芯片技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

作為最先進(jìn)的光刻技術(shù)，極紫外光刻機(jī)被行業(yè)賦予拯救摩爾定律的使命，是當(dāng)今國際上唯一能夠做到生產(chǎn)7nm及以下制程芯片的設(shè)備，尤其是數(shù)值孔徑達(dá)0.55的極紫外光刻機(jī)單臺售價(jià)高達(dá)3億美元。因此，開展極紫外光刻技術(shù)研究是國際集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然趨勢。

極紫外光刻技術(shù)中為減小掩模和投影物鏡系統(tǒng)的熱變形，掩模和反射鏡基底必須選擇超低熱膨脹系數(shù)的材料。摻鈦石英玻璃是以SiO₂為主要成分，通過適量摻雜TiO₂，從而變成具有超低熱膨脹系數(shù)的特種玻璃。其溫度膨脹系數(shù)極低且根據(jù)TiO₂的摻雜比例可以調(diào)控溫度膨脹特性。通常，摻鈦石英玻璃的熱膨脹系數(shù)可達(dá)到10-8/℃～10-9/℃量級甚至達(dá)到零膨脹，是極紫外光刻的必選材料。

由于光刻機(jī)用摻鈦石英玻璃在熱膨脹系數(shù)及其空間分布均勻性、熱膨脹系數(shù)過零溫度點(diǎn)、可加工特性、應(yīng)力、氣泡雜質(zhì)等方面都有特殊的要求，目前該類材料只有美國康寧、德國賀利氏、日本尼康等公司掌握該類材料的生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，而我國目前研制的摻鈦石英玻璃還無法滿足當(dāng)前極紫外光刻的應(yīng)用需求，所以國內(nèi)相關(guān)團(tuán)隊(duì)正在攻關(guān)解決該類材料存在的關(guān)鍵技術(shù)問題。

因此，針對國內(nèi)光刻用摻鈦石英玻璃，急需制定相適應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)范用以指導(dǎo)我國光刻用摻鈦石英玻璃材料研發(fā)與生產(chǎn)工藝技術(shù)優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)量檢測及產(chǎn)業(yè)應(yīng)用選型，解決當(dāng)前光刻用摻鈦石英玻璃產(chǎn)品存在的規(guī)范問題。

據(jù)悉，國家標(biāo)準(zhǔn)《光刻用摻鈦石英玻璃》主要內(nèi)容規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。適用于光刻用摻鈦石英玻璃產(chǎn)品，其他類似石英玻璃產(chǎn)品可參照使用。

參考來源：國家市場監(jiān)督管理總局標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)管理司、全國標(biāo)準(zhǔn)信息公開服務(wù)平臺

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