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        《半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿發(fā)布!


        來(lái)源:中國(guó)粉體網(wǎng)   初末

        [導(dǎo)讀]  近日,由全國(guó)城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)歸口管理,浙江美晶新材料股份有限公司等相關(guān)單位共同起草的《半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿發(fā)布。

        中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近年來(lái),半導(dǎo)體市場(chǎng)需求不斷增長(zhǎng),尤其是在5G通信、人工智能等新興領(lǐng)域的崛起下,對(duì)高純硅的需求急速攀升。在此背景下,半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)迅速發(fā)展,全球?qū)Ω咂焚|(zhì)單晶硅的需求量不斷增長(zhǎng)。目前這一關(guān)鍵原材料石英砂主要依賴(lài)進(jìn)口,國(guó)內(nèi)外部高純石英砂資源供應(yīng)存在局限,加之國(guó)際市場(chǎng)價(jià)格波動(dòng)和地緣政治風(fēng)險(xiǎn),制約了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定發(fā)展。同時(shí),半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展對(duì)高品質(zhì)原材料的需求更為迫切。


        然而,現(xiàn)有高純石英砂標(biāo)準(zhǔn)不規(guī)范、不統(tǒng)一,存在著生產(chǎn)環(huán)節(jié)中無(wú)法匹配的情況。此外,長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口高純石英砂造成了供應(yīng)鏈不穩(wěn)定性,價(jià)格波動(dòng)頻繁影響了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)秩序。面臨這些問(wèn)題,急需建立半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)制度化管理,因此,開(kāi)展半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂標(biāo)準(zhǔn)研制項(xiàng)目具有重要意義。


        近日,由全國(guó)城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)歸口管理,浙江美晶新材料股份有限公司等相關(guān)單位共同起草的《半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿發(fā)布。


        文件規(guī)定了半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存技術(shù)內(nèi)容。文件適用于半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂。


        術(shù)語(yǔ)和定義


        高純石英砂:指具有極高純度的石英砂,通常要求石英含量接近100%,并且少含雜質(zhì)(如金屬氧化物、碳等)以確保最終單晶硅的純凈度和電子級(jí)要求。


        粒度:指砂子中各顆粒粒徑大小的分布范圍及其均勻性。通常采用網(wǎng)孔尺寸、平均直徑或者累積頻率等方式進(jìn)行描述。常見(jiàn)的石英砂粒度等級(jí)包括粗砂、細(xì)砂、細(xì)沙、細(xì)粉沙等。


        雜質(zhì)元素:指在石英砂原料中除主要成分二氧化硅(SiO2)以外的其他元素,包括鋁、鈣、鐵、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳、銅等元素,這些雜質(zhì)元素的存在可能會(huì)對(duì)單晶硅的制備過(guò)程以及最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生不利影響。


        GDMS法:輝光放電質(zhì)譜法,簡(jiǎn)稱(chēng)GDMS,是利用輝光放電源作為離子源與質(zhì)譜儀器聯(lián)接進(jìn)行質(zhì)譜測(cè)定的一種分析方法。GDMS被認(rèn)為是目前對(duì)固體導(dǎo)電材料直接進(jìn)行痕量及超痕量元素分析的最有效的手段。由于其可以直接固體進(jìn)樣,已成為無(wú)機(jī)固體材料,尤其是高純金屬、合金等材料雜質(zhì)成分分析方法。


        技術(shù)要求


        外觀:高純石英砂應(yīng)為透明顆粒、白色顆;蛘邷\色顆粒,無(wú)結(jié)團(tuán)。


        粒度:高純石英砂粒度要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。


        表1  粒度要求


        雜質(zhì)元素含量:高純石英砂雜質(zhì)元素總含量應(yīng)≤20 μg/g,其中鉀、鋰、鈉含量總和<2.5 μg/g,各雜質(zhì)元素含量應(yīng)符合表2的規(guī)定。


        表2  各雜質(zhì)元素含量


        二氧化硅含量:高純石英砂中二氧化硅含量應(yīng)大于或等于99.998%。


        參考來(lái)源:

        全國(guó)城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會(huì)

        團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》編制說(shuō)明

        團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)用高純石英砂》征求意見(jiàn)稿


        (中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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        作者:初末

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