中國粉體網(wǎng)訊 近日,河北同光半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡稱同光股份)旗下的SiC襯底項(xiàng)目和粉體項(xiàng)目均順利通過驗(yàn)收。據(jù)悉,該SiC襯底項(xiàng)目由同光股份主導(dǎo)建設(shè),是公司首條SiC襯底產(chǎn)線的第三階段建設(shè)項(xiàng)目。該項(xiàng)目自2017年啟動規(guī)劃,歷時七年,于2024年2月順利完成驗(yàn)收,意味著該項(xiàng)目全面投入生產(chǎn)已無障礙。
晶圓尺寸方面,在項(xiàng)目規(guī)劃初期,市面上SiC襯底供應(yīng)以4英寸為主,6英寸尚未普及,同光股份SiC襯底項(xiàng)目規(guī)劃建設(shè)4英寸SiC襯底產(chǎn)線符合主流需求。而到目前為止,各大廠商6英寸SiC襯底已然完成批量供貨,并開始積極研發(fā)和小批量試產(chǎn)8英寸襯底,同光股份SiC襯底產(chǎn)線從最初的4英寸規(guī)劃轉(zhuǎn)型為主要生產(chǎn)技術(shù)上相對成熟的6英寸襯底也就順理成章。
產(chǎn)能方面,這條產(chǎn)線最初計(jì)劃年產(chǎn)6萬片SiC單晶襯底。而在2020年3月,同光股份與淶源縣人民政府簽署協(xié)議,政企共建年產(chǎn)10萬片4-6英寸SiC單晶襯底項(xiàng)目,年產(chǎn)能由6萬片提升至10萬片。公司在2023年又對該產(chǎn)線進(jìn)行了改造,并計(jì)劃新建一條產(chǎn)線,預(yù)計(jì)改造產(chǎn)線和新建產(chǎn)線的投產(chǎn),理論上將使該工廠的SiC襯底產(chǎn)能提高到30萬片左右。
與SiC襯底項(xiàng)目同時通過驗(yàn)收的SiC粉體項(xiàng)目由同光股份全資子公司河北同光新材料有限公司負(fù)責(zé)承接,計(jì)劃投資7.4億元,旨在建設(shè)一條年產(chǎn)能為165噸的SiC原材料生產(chǎn)線。實(shí)際建設(shè)中,項(xiàng)目投資縮減至4.4億元,產(chǎn)能調(diào)整為80噸。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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